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MF4000
微小量程-質(zhì)量式氣體流量計(jì) / 質(zhì)量流量計(jì) (Mass Flow Meter / Gas Flow Meter) |
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| MF4000 質(zhì)量式氣體流量計(jì)/ 質(zhì)量流量計(jì) / 熱質(zhì)式流量計(jì) / 熱質(zhì)式質(zhì)量流量計(jì) |
MF4000 MEMS質(zhì)量式氣體流量計(jì) / 質(zhì)量流量計(jì) / 熱質(zhì)式流量計(jì) / 熱質(zhì)式質(zhì)量流量計(jì)
MF4000 專為各類小流量氣體測量和過程控制設(shè)計(jì)，適用于各類清潔、干燥氣體。量程比達(dá)100:1，
配備多種輸出信號(hào)及通訊接口、LED顯示瞬時(shí)&累積流量，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)，接續(xù)管徑3mm、8mm
氧氣、氮?dú)狻⒑?、氫氣、氬氣、壓縮氣體、甲烷、液化石油氣、天然氣...等
工業(yè)制造業(yè)的用氣測量及程控、
醫(yī)療設(shè)備 (如：醫(yī)療麻醉與呼吸設(shè)備、醫(yī)院供氧/制氧設(shè)備、分床計(jì)費(fèi)系統(tǒng))
環(huán)保領(lǐng)域、食品加工、科學(xué)氣體分析儀器、樓宇自控、保健設(shè)備...等
MEMS是將微電子技術(shù)與機(jī)械工程融合的一種工業(yè)技術(shù)；而MF系列氣體流量計(jì)采用MEMS芯片及專利的封裝技術(shù)，
相較于傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)，MEMS質(zhì)量流量計(jì)，體積更輕巧、壓力損失小、低功耗、響應(yīng)速度快、測量結(jié)果更精確可靠
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| 質(zhì)量式氣體流量計(jì)/質(zhì)量流量計(jì) 技術(shù)參數(shù) |
| 型號(hào) |
MF4003 |
MF4008 |
口徑 |
3mm |
8mm |
| 最大流量(SLPM) |
2,3,4,5 |
10,20,30,40,50 |
| 量程比 |
100:1 |
| 精確值 |
±(1.5+0.2FS)% |
| 重復(fù)性 |
0.25% |
| 零點(diǎn)飄移 |
±30mV |
| 輸出飄移 |
±0.12% / ℃ |
| 響應(yīng)時(shí)間 |
10ms(可調(diào)) |
電源 |
8~24VDC,50mA |
| 輸出信號(hào) |
RS232、RS485、0.5~4.5VDC |
| 最大工作壓力 |
0.5MPa |
| 機(jī)械接口 |
BSPT 1/4(R1/4)或4mm、6mm、8mm快速接頭 |
| 工作溫度 |
-10?55℃ |
| 儲(chǔ)存溫度 |
-20?65℃ |
| 工作濕度 |
<95%RH(無結(jié)冰、無結(jié)露) |
| 應(yīng)用環(huán)境 |
粒子計(jì)數(shù)器、各類分析儀器 |
麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機(jī)，氣體分析儀等 |
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