MFI 在線式-MEMS質量式氣體流量計 / 質量流量計 / 熱質式流量計 / 熱質式質量流量計
MFI系列 在線式(in-line)氣體流量計，插入式安裝，專為大管線(≥150mm)的氣體監(jiān)測控制而設計，

配有自密式閥門，可以在最輕微干擾的情況下解決氣體測量的有效方案?？蓱糜谏a(chǎn)過程中的氣體測控

【測量類型】
氧氣、氮氣、氦氣、氫氣、氬氣、壓縮氣體、甲烷、液化石油氣、天然氣、二氧化碳...等

【應用環(huán)境】
工業(yè)制造業(yè)的用氣測量及程控、
環(huán)保領域、食品加工、科學氣體分析儀器、樓宇自控、保健設備...等

【何謂MEMS(Micro-electromchanical System)？】
MEMS是將微電子技術與機械工程融合的一種工業(yè)技術；而MF系列氣體流量計采用MEMS芯片及專利的封裝技術，
相較于傳統(tǒng)的熱式質量流量計，MEMS質量流量計，體積更輕巧、壓力損失小、低功耗、響應速度快、測量結果更精確可靠

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