MF5000 MEMS質(zhì)量式氣體流量計(jì) / 質(zhì)量流量計(jì) / 熱質(zhì)式流量計(jì) / 熱質(zhì)式質(zhì)量流量計(jì)
MF5000 專為工業(yè)環(huán)境設(shè)計(jì)，在單個芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計(jì)量程比大大提升，

管徑范圍3.0mm~19.0mm，具有多種信號輸出及通訊接口 本產(chǎn)品在性能、 安裝可廣泛應(yīng)用于

石油、燃?xì)狻⒒?、冶煉、能源等各個領(lǐng)域

【測量類型】
氧氣、氮?dú)?、氦氣、氫氣、氬氣、壓縮氣體、甲烷、液化石油氣、天然氣、二氧化碳...等

【應(yīng)用環(huán)境】
工業(yè)制造業(yè)的用氣測量及程控、
醫(yī)療設(shè)備 (如：醫(yī)療麻醉與呼吸設(shè)備、醫(yī)院供氧/制氧設(shè)備、分床計(jì)費(fèi)系統(tǒng))

環(huán)保領(lǐng)域、食品加工、科學(xué)氣體分析儀器、樓宇自控、保健設(shè)備...等

【何謂MEMS(Micro-electromchanical System)？】
MEMS是將微電子技術(shù)與機(jī)械工程融合的一種工業(yè)技術(shù)；而MF系列氣體流量計(jì)采用MEMS芯片及專利的封裝技術(shù)，
相較于傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)，MEMS質(zhì)量流量計(jì)，體積更輕巧、壓力損失小、低功耗、響應(yīng)速度快、測量結(jié)果更精確可靠

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